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Products
更新時間:2025-03-13
瀏覽量:2785
產品介紹
數據表
Trek 645軟件驅動靜電卡盤電源的使用記錄顯示，客戶的效率和吞吐量提高了三倍，是其他電源的三倍。Trek 645幾乎消除了粘性晶圓和晶圓爆裂問題，從而確保更好地控制顆粒污染。鑒于Trek 645的多功能性和性能，它可以用于多種獨特的工具/工藝，從而消除了為設施中的每個獨特工具/工藝指定新供應的需要。
產品亮點
可鎖定的前面板控制界面
每臺設備均提供 NIST 可追溯校準證書
支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術
將靜電吸盤輪廓上傳并存儲到裝置中，并通過用戶友好的軟件界面進行內部存儲
晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態
減少背面氣體錯誤，提高吞吐量，并消除晶圓粘滯/爆裂問題
控制參數，如過流、晶圓存在和晶圓箝位閾值、箝位電壓、偏移電壓和內部或外部幅度/偏移控制
調整過程中的振幅/偏移和輸出控制的多功能性
使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控件控制輸出
配置自定義夾緊和夾緊序列和波形
產品規格
| 尺寸 | 43.7 x 421.6 x 457.3 mm (1.72 x 16.6 x 18 in) |
| 面板寬度 | 482.6 mm (19 in) |
| 重量 | 3.86 kg (8.5 lb) |
| 接地插座 | 接地螺栓 |
| 電源要求 | 24 VDC, 1.7 A |
| 工作溫度 | 0至35°C（32至104°F） |
| 相對濕度 | 達到85%，不凝結 |
| 海拔高度 | 至2000米（6561.68英尺） |
| 輸出功率 （W） | 13 |
| 最大輸出電流 （A） | ±0.0065 |
| 轉換速率 （V/ms） | - |
| 輸出電壓范圍 （V） | 0 至 ±2000 |
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